超精密運動平臺常用導軌有機械滾動導軌、靜壓導軌等，機械滾動導軌的應用己經有好多年，機械滾動導軌的運動精度達到微米級，摩擦因數可以降低到0.002至0.003。機械滾動導軌的優點是滾動摩擦阻力小，沒有滑動導軌的爬行、浮動現象，但機械滾動導軌的摩擦大、抗震性差、運動不平穩、壽命低，在應用方面有所欠缺。

氣浮導軌基于氣體動靜壓效應，實現無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度。通常與直線電機，編碼器反饋，控制驅動器組成閉環系統，實現高精度位移定位。氣浮導軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應用。

氣浮導軌相對于普通滾動導軌有著如下的優點：

（1）導軌面間是氣體潤滑，其摩擦系數極小（約為0.0005左右），故驅動功率可大大降低；

（2）因系非接觸性摩擦，故導軌磨損極小，理論上使用壽命是無限的，能長期保持制造精度，減少了維修工作量；

（3）氣膜具有誤差均化作用，可提高導軌運動精度；

（4）氣膜厚度幾乎不受速度的影響，即使在極低速時也不會產生爬行，運動平穩；

（5）幾乎不產生熱量，不會發生粘度變化，無需添加冷卻措施。

精效懸浮有20年的精密機械設計、加工及裝配等從業經驗，從設計上對高壓氣體的流動規律、壓力分布、轉臺精度分離方法等進行了充分研究，研究其影響因素-高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深度等，找到了最優氣膜剛度時的參數區間。在氣浮轉臺取得了關鍵技術突破，為高精度零件的加工與檢測、超精密加工工具的研制奠定了技術基礎。軸向和徑向誤差在100nm以內，雙向重復定位精度1角秒內。